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Versatile-GM300

Versatile-GM300是面向封装领域创新研发的超精密晶圆减薄设备。该设备采用新型布局,可实现薄型晶圆背面超精密磨削与应力去除;兼容8/12英寸晶圆,搭载晶圆贴膜机联机使用,可实现从精密减薄、清洗干燥到粘贴料环、背膜剥离的全流程自动化作业;高可靠性的晶圆搬运系统有效降低薄型晶圆破损风险。该设备依托卓越的厚度在线量测与表面缺陷控制技术,具有高精度、高刚性、工艺开发灵活等优点,满足封装领域的薄型晶圆加工需求。


可实现全流程自动化作业

卓越的厚度偏差与表面缺陷控制技术

高精度、高刚性、工艺开发灵活

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